Вакуум бүрэх машин нь субстратын гадаргуу дээр металл нимгэн хальсыг хуримтлуулах төхөөрөмж юм. Түүний ажиллах үндсэн зарчим нь цэвэрлэх, ууршуулах, тунадасжуулах гэсэн гурван үе шатанд хуваагдана.
1. Цэвэрлэгээ
Ууршуулахын өмнө ууршуулах камерыг цэвэрлэх шаардлагатай. Ууршилтын камерын гадаргуу дээр исэл, тос, тоос болон бусад бодисууд наалдсан байж болзошгүй тул эдгээр нь хальсны чанарт нөлөөлнө. Цэвэрлэгээ нь ихэвчлэн химийн болон физикийн аргыг ашигладаг.
2. ууршилт
Хүссэн материалыг хайлах цэгээс дээш халааж, хийн молекул үүсгэдэг. Дараа нь хийн молекулууд вакуум камерт ууршилтын камерт урсдаг. Энэ процессыг ууршилт гэж нэрлэдэг. Температур, даралт, ууршилтын хурд нь хальсны найрлага, бүтэц, шинж чанарт нөлөөлдөг.
3. Хадгаламж
Ууршилтын камер дахь материалын хийн молекулууд нь вакуум хоолойгоор дамжуулан урвалын камерт орж, идэвхтэй материалтай урвалд орж, дараа нь бүтээгдэхүүнийг субстратын гадаргуу дээр байрлуулна. Энэ процессыг тунадасжилт гэж нэрлэдэг. Температур, даралт, тунадасны хурд нь киноны чанар, гүйцэтгэлд нөлөөлдөг.
2. Өргөдөл
Вакуум бүрэх машин нь материал судлал, оптик, электроник болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг.
1. Материалын шинжлэх ухаан
Вакуум бүрэх машин нь янз бүрийн металл, хайлш, исэл, силикат болон бусад материалын нимгэн хальс бэлтгэх боломжтой бөгөөд бүрэх, оптик хальс, оптик хадгалах, дэлгэц, транзистор болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг.
2. Оптик
Вакуум бүрэх машин нь өндөр тусгалтай металл болон хайлш хальс, тусгай функц бүхий оптик хальс бэлтгэх боломжтой. Эдгээр хальсыг нарны зай хураагуур, өндөр хүчин чадалтай электрон микроскоп, аэрогель, хэт ягаан туяа/IR мэдрэгч, оптик шүүлтүүр болон бусад салбарт ашиглаж болно.
3. Цахилгаан бараа
Вакуум бүрэх машин нь нано хэмжээний электрон материал, микро электрон төхөөрөмж бэлтгэх боломжтой. Эдгээр хальсыг нанотранзистор, соронзон санах ой, мэдрэгч болон бусад салбарт ашиглаж болно.
Товчхондоо, вакуум бүрэх машин нь төрөл бүрийн нимгэн хальсан материалыг бэлтгэхээс гадна шаардлагатай бол тусгай функцтэй нимгэн хальс бэлтгэх боломжтой. Цаашид вакуум бүрэх технологийг өргөнөөр ашиглаж, сурталчлах болно.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 3-р сарын 12